Cảm biến trong SX chip bán dẫn

[haunobita]

Em đang tìm tài liệu về cảm biến trong SX chíp bán dẫn. Dùng Google search cũng không thấy. Các giai đoạn như phòng sạch, tạo vùng trên wafer và một vài công đoạn khác em đã tìm hiểu. Vấn đề là không biết và không tìm đc các tài liệu cho cảm biến liên quan . Huynh đệ nào biết hoặc có tài liệu về cái này, mong chỉ giáo và chia sẻ . Thanks

[haunobita]

? Không ai có ý kiến gì seo?

[haunobita]

vậy em xin đóng cái topic này. Bố cáo cùng các pác.