Từ cát đến chip.

[Paddy]

Dạ đúng là đang nói về back lapping, chứ bên làm mạch điện mà còn polish thì ... vứt đi luôn.
Trong một số phòng thí nghiệm "Material Science" ở VN, mài mẫu rắn bằng tay trên giấy nhám, và mẫu nhuộm máu là chuyện thường ngày.
Một số thiết bị như máy cắt, máy mài, máy đánh bóng,... dù đắt tiền cũng chỉ dùng được tối đa 2 năm là nghỉ hưu, vì không có đội ngũ bảo dưỡng có kinh nghiệm và có trách nhiệm. Kỹ thuật viên thì có mỗi nhiệm vụ lau chùi bề ngoài, phủ tấm che bụi trước khi ra về. Mà họ lại về sớm hơn các nghiên cứu viên nên tình trạng máy bị "nhiễm độc triền miên" là điều không thể tránh khỏi.
Máy bị rỉ sét do hóa chất, sai số do lệch chuẩn, không thực hiện được một số chức năng... vẫn được sử dụng cho đến khi chết hẳn.

Nghe giống mấy bác làm fab bên tq quá. Để kể chuyện đó sau.

[HTTTTH]

Đang kể chuyện VN mà... Không có đủ đội ngũ chuyên môn từ đầu đến cuối; nhân viên làm việc theo kiểu qua loa đại khái, người nghiên cứu thấy được giá trị của thiết bị thì không có thời gian bảo dưỡng bảo trì hàng ngày... Một cái máy hàng tỷ đồng hỏng 1 bộ phận nhỏ cũng đành đắp chiếu, vì... bài ca muôn thuở là "không có kinh phí".
Nếu cứ cung cách này, hôm sau các ông làm xong nhà máy điện HN, nên dọn nhà sang nước khác ở cho an toàn.

[hithere123]

Đang kể chuyện VN mà... Không có đủ đội ngũ chuyên môn từ đầu đến cuối; nhân viên làm việc theo kiểu qua loa đại khái, người nghiên cứu thấy được giá trị của thiết bị thì không có thời gian bảo dưỡng bảo trì hàng ngày... Một cái máy hàng tỷ đồng hỏng 1 bộ phận nhỏ cũng đành đắp chiếu, vì... bài ca muôn thuở là "không có kinh phí".
Nếu cứ cung cách này, hôm sau các ông làm xong nhà máy điện HN, nên dọn nhà sang nước khác ở cho an toàn.

Bác HTTTTH sao lại viết những câu bi quan thế, theo chỗ em được biết điện hạt nhân có bộ core là thế hệ 7x. Không hiểu sao em lại rất có niềm tin vào thế hệ này nhé

À bác Paddy cho em hỏi thêm chút, ngày xưa khi làm wafer, các bác có kiểu làm hết đến poly rồi đem cất wafer đi, đợi vài tháng sau đem ra làm tiếp các lớp metal không? Em thấy về mặt lý thuyết làm thế không vấn đề gì, còn kéo dài được thêm chút thời gian cho bọn design chúng em vừa thiết kế vừa chạy wafer.

Và nếu vậy thì chỉ khi đang "ướp thịt" (font-end) mà có vấn đề về nguồn cung cấp thì mẻ đấy mới vứt đi; chứ còn ướp xong rồi, ở công đoạn nối dây (back-end) khi đang nối dây mà mất điện thì kệ nó, khi nào có điện ta lại mài đi rồi nối dây lại dư sức đúng không bác?

[HTTTTH]

Thì nói là nói vậy, chứ dọn đi đâu được ??
Chỉ lo sợ cái quan trọng như thế mà giao vào tay mấy chú trời đánh, CÔCC thì dễ hỏng sự lắm. [MENTION=58706]hithere123[/MENTION]: Có lẽ công nghệ silicon không nên gắn với "thói quen" mất điện, và ngược lại.

[Paddy]

Bác HTTTTH sao lại viết những câu bi quan thế, theo chỗ em được biết điện hạt nhân có bộ core là thế hệ 7x. Không hiểu sao em lại rất có niềm tin vào thế hệ này nhé

À bác Paddy cho em hỏi thêm chút, ngày xưa khi làm wafer, các bác có kiểu làm hết đến poly rồi đem cất wafer đi, đợi vài tháng sau đem ra làm tiếp các lớp metal không? Em thấy về mặt lý thuyết làm thế không vấn đề gì, còn kéo dài được thêm chút thời gian cho bọn design chúng em vừa thiết kế vừa chạy wafer.

Và nếu vậy thì chỉ khi đang "ướp thịt" (font-end) mà có vấn đề về nguồn cung cấp thì mẻ đấy mới vứt đi; chứ còn ướp xong rồi, ở công đoạn nối dây (back-end) khi đang nối dây mà mất điện thì kệ nó, khi nào có điện ta lại mài đi rồi nối dây lại dư sức đúng không bác?

Hãng tớ là chơi 1 phát từ A tới Z luôn vì mask là phải có đầy đủ rồi chứ đâu có ngồi chờ từng lớp mask được. 1 giờ máy ngồi không là tốn bao nhiêu tiền đấy (cái này là dân kinh tế họ tính ra).

Không ai muốn làm vậy hết. Lý do rất đơn giản. Lớp poly thì không sao, chứ lớp metal thì sẽ bị hư, nhất là lớp nhôm (bị oxít hoá). Thường thì lớp metal ra là phải đưa qua phần D hay M kế tiếp trong vòng 4 tiếng. Có loại "nhậy cảm" hơn thì chỉ có "cửa sổ" chừng 1 tiếng đồng hồ thôi. Mấy thứ nhậy cảm ấy họ hay cho vào tủ đựng kín và bơm Nitrogen vô. KHông những vậy mà nhiều máy trước khi vô process chính họ đưa qua phần plasma etch để tẩy mặt wafer cho sạch phần bị oxit hoá.

Còn về mất điện phần back end hay front end đối với dân chạy máy đều như nhau thôi. Mất điện trong một thời gian nào đó là máy phải được đem ra lau chùi lại. Mỗi máy 1 khác nhau. VD máy SOG mất điện thì nước SOG thành thủy tinh. Máy CMP mất điện thì slurry thành bột. Máy CVD mất điện thì nguội lại, mất chân không chon nên các chất khí phân hóa làm dơ buồng máy, v.v.

Còn đối với wafer đang chạy phần backend thì đâu biết đắp được bao nhiêu lớp D hay lớp M. Thường là họ đem ra lột lớp đang chạy và làm lại. Còn tốn kém quá thì họ cho thùng rác.

[Paddy]

Thì nói là nói vậy, chứ dọn đi đâu được ??
Chỉ lo sợ cái quan trọng như thế mà giao vào tay mấy chú trời đánh, CÔCC thì dễ hỏng sự lắm. [MENTION=58706]hithere123[/MENTION]: Có lẽ công nghệ silicon không nên gắn với "thói quen" mất điện, và ngược lại.

Trước giờ hãng tớ bị mất điện chừng 2 lần. Một lần mất điện chừng 7-10 tiếng đồng hồ cho vài tiểu bang miền tây. Kết quả là mất mấy ngày ngồi lau buồng máy, thử máy rồi mới cho máy chạy sản phẩm được. Một lần nữa thì do con mèo hoang chui vào trạm biến điện làm "ngắn mạch" cho nên tự động cắt điện cho vùng đó, tuy nhiên chừng 1 tiếng thôi. Kết quả cũng như lần mất điện kỳ trước. Máy nào nhậy cảm như SOG, CVD là phải lau chùi buồng máy hết. Máy như PVD thì đỡ hơn, chỉ thử lại coi có bị dơ hay vỡ wafer không rồi chạy tiếp.

[HTTTTH]

Thì theo tôi biết là Padd đã làm ở đó hơn 10 năm rồi, mất điện có 2 lần.
Ở VN, mất điện là một chuyện bình thường, nên tôi dùng từ "thói quen" mất điện.
Tôi nghĩ, máy như SOG, CVD đang chạy mà mất điện thì bảo dưỡng cực lắm vì phải làm lại khối chân không ?

[Paddy]

Thì theo tôi biết là Padd đã làm ở đó hơn 10 năm rồi, mất điện có 2 lần.
Ở VN, mất điện là một chuyện bình thường, nên tôi dùng từ "thói quen" mất điện.
Tôi nghĩ, máy như SOG, CVD đang chạy mà mất điện thì bảo dưỡng cực lắm vì phải làm lại khối chân không ?

Điện nhà thì có thể bị cúp chứ điện hãng thì khó lắm.

Chân không thì do cái bơm thôi (máy SOG chân không để giữ wafer không văng ra nên không quan trọng). Từ áp xuất không khí xuống tới vài mTorr thì vài phút thôi (cho máy CVD). Còn máy PVD xuống tới 10 lũy thừa -8 Torr nên nhiều khi mất tới chừng 4 tiếng đồng hồ. Nếu máy mới lau thì còn lâu hơn vì có hơi "ẩm" từ IPA dùng để lau máy. Rồi từ các con ốc máy. Đó là tại sao các ốc trong buồng máy đều khoan lỗ thông hơi hết (kêu là vented screw).

[HTTTTH]

Tôi nhớ khi còn đi học, mất điện như cơm bữa. Mình lại làm món thin-film. Bơm khuếch tán bắt đầu chạy mà mất điện thì ... thôi rồi. Một tuần ngừng việc nhé: Đầu tiên là phải đun cất xăng để loại bỏ chì và phụ gia, lấy ra khoảng 2 lít xăng trắng. Sau đó mới tháo bơm, dùng xăng rửa sạch, thay dầu... cuối cùng là phải chạy kiểm tra 1 ngày rồi mới bắt đầu làm lại.
Bên cạnh đó, còn cảnh mất nước nữa. Bó tay.
Bây giờ thì đỡ nhiều rồi, các cơ sở nghiên cứu, trường học, được xài điện "ưu tiên", một năm mất điện vài lần đều là do bất khả kháng.

[hithere123]

Tụi em lần đầu tiên tape-out thì thường chỉ làm một lot khoảng 12 wafer, trong đó chỉ 3 wafer là chạy tới Z, 3 wafer tiếp theo thì chạy đến 2-3 lớp metal đầu tiên (xong phần nối các cell) là dừng, các wafer còn lại chỉ chạy tới poly là đem cất. Việc làm này là có chủ đích nên các bác bên fab chắc có quy trình cho phép làm như vậy. Chính vì thế em nghĩ nếu làm back-end mà mất điện thì đợi khi nào có điện ta lại mài đi rồi làm lại, chứ vứt hết đi làm lại thì tốn kém quá, nhưng có khi cái công chuẩn bị máy rồi mài đi làm lại có khi còn tốn kém hơn là làm lại từ đầu

Cũng vì lý do này mà bên cạnh fab bao giờ cũng phải làm thêm nhà máy điện và nhà máy nước. Nhất là điều kiện điện đóm ở mình, khi xây fab mà không xây thêm cái nhà máy điện thì mệt thật. À mà có bác nào biết nhà máy fab các bác nhà mình định bao giờ khởi công nhỉ, tình hình khó khăn vậy mà mình vẫn làm được thì ngon.

Ở Hà Nội em biết có 2 chỗ có máy làm cái này, một là Z181 ngày xưa nhưng làm transistor xịt từ hơn 20 nay rồi, thứ hai là viện itims bách khoa chỗ thày Chiến, bác HTTTTH nghe có thấy quen không?

[HTTTTH]

Z181 hay Bán dẫn Sao Mai thì không chỉ tôi mà rất nhiều người biết với sản phẩm trứ danh là "transistor không số" trong các "sách" của KS N.Đức Ánh. Và cả "diode không số" dạng 1N400x nữa.
ITIMS thì đi vào nghiên cứu cơ bản, chứ chưa đến quy mô pilot, nên không có sản phẩm.

[Paddy]

Tôi nhớ khi còn đi học, mất điện như cơm bữa. Mình lại làm món thin-film. Bơm khuếch tán bắt đầu chạy mà mất điện thì ... thôi rồi. Một tuần ngừng việc nhé: Đầu tiên là phải đun cất xăng để loại bỏ chì và phụ gia, lấy ra khoảng 2 lít xăng trắng. Sau đó mới tháo bơm, dùng xăng rửa sạch, thay dầu... cuối cùng là phải chạy kiểm tra 1 ngày rồi mới bắt đầu làm lại.
Bên cạnh đó, còn cảnh mất nước nữa. Bó tay.
Bây giờ thì đỡ nhiều rồi, các cơ sở nghiên cứu, trường học, được xài điện "ưu tiên", một năm mất điện vài lần đều là do bất khả kháng.

Bơm khuếch tán là loại bơm gì vậy bác ?

Trong Fab thì họ hay dùng IPA (cồn y tế) loại 100% để lau chùi này nọ. Nếu dùng các thứ mạnh hơn thì gây hư hại tới các thứ như orings.

Bơm trong hãng tớ thì chạy tới chết rồi gởi ra ngoài cho hãng bơm tu chỉnh lại. Bà con thường né mấy cái bơm vì nó chứa toàn độc chất, nhất là từ các khâu CVD, Etch.

[Paddy]

Tụi em lần đầu tiên tape-out thì thường chỉ làm một lot khoảng 12 wafer, trong đó chỉ 3 wafer là chạy tới Z, 3 wafer tiếp theo thì chạy đến 2-3 lớp metal đầu tiên (xong phần nối các cell) là dừng, các wafer còn lại chỉ chạy tới poly là đem cất. Việc làm này là có chủ đích nên các bác bên fab chắc có quy trình cho phép làm như vậy. Chính vì thế em nghĩ nếu làm back-end mà mất điện thì đợi khi nào có điện ta lại mài đi rồi làm lại, chứ vứt hết đi làm lại thì tốn kém quá, nhưng có khi cái công chuẩn bị máy rồi mài đi làm lại có khi còn tốn kém hơn là làm lại từ đầu

Cũng vì lý do này mà bên cạnh fab bao giờ cũng phải làm thêm nhà máy điện và nhà máy nước. Nhất là điều kiện điện đóm ở mình, khi xây fab mà không xây thêm cái nhà máy điện thì mệt thật. À mà có bác nào biết nhà máy fab các bác nhà mình định bao giờ khởi công nhỉ, tình hình khó khăn vậy mà mình vẫn làm được thì ngon.

Ở Hà Nội em biết có 2 chỗ có máy làm cái này, một là Z181 ngày xưa nhưng làm transistor xịt từ hơn 20 nay rồi, thứ hai là viện itims bách khoa chỗ thày Chiến, bác HTTTTH nghe có thấy quen không?

Tớ chưa thấy như vậy nên không rõ lý do tại sao. Có thể họ chỉ muốn thử các mạch M và lớp cách điện D ?

[hithere123]

Bơm khuếch tán là loại bơm gì vậy bác ?

Em nghĩ là bác HTTTTH muốn nói tới khi bắt đầu quá trình khuếch tán (diffusion); giai đoạn ướp thịt này mà mất điện thì bỏ đi làm lại thôi chứ biết làm thế nào.

[HTTTTH]

Trong hệ chân không ở phòng thí nghiệm thì có 2 cấp bơm: bơm "sơ cấp" và bơm "khuếch tán".
Thoạt đầu, bơm "sơ cấp" hoạt động; đến ~ 10^-2 mmHg thì bơm khuếch tán mới bắt đầu hoạt động để tạo chân không cao hơn.
Bơm khuếch tán là bơm tạo chân không đến 10^-6 mmHg, dùng dầu.

http://vi.wikipedia.org/wiki/B%C6%A1...%BFch_t%C3%A1n